[发明专利]一种大口径光学元件平面面形绝对检测方法在审
| 申请号： | 202310433323.9 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116625269A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 赵智亮;赵子嘉;刘乾;张志华;黄丹;王雪竹 | 申请（专利权）人： | 成都太科光电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02001 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 彭思雨 |
| 地址： | 610000 四川省成都市温*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请涉及光学元件平面面形检测技术领域，公开了一种大口径光学元件平面面形绝对检测方法，本申请的检测方法只需两块平晶，互检四次以后，经过数据处理就可以计算得到被测镜的面形分布，整个检测过程不需要旋转平晶，测量方法简单易于操作，是一种有效的平面绝对检测方法，并且同时还能够将光学元件的中频面形信息单独提取出来，从而指导标准镜的超光滑表面加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 光学 元件 平面 绝对 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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