[发明专利]一种硅片自动化传输机构及硅片走位异常处理方法

摘要

本发明提供了一种硅片自动化传输机构及硅片走位异常处理方法，涉及太阳能电池技术领域，其硅片自动化传输机构包括：传输装置，用于输送硅片；托片装置，设置在传输装置的外侧并用于将硅片从传输装置上托起；检测装置，设置在传输装置的内侧并用于检测硅片在传输装置上的姿态；调节装置，设置在传输装置的一侧并用于调整硅片在传输装置上的姿态；控制器，控制器分别与传输装置、托片装置、检测装置以及调节装置电连接。本发明中的硅片自动化传输机构能够降低硅片在湿化学及板式镀膜工序中的隐裂风险，同时提高成品质量。