[发明专利]一种高精度超低压传感器在审
| 申请号： | 202310350168.4 | 申请日： | 2023-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN116499633A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 周浩楠;赵晓东;陈广忠;王齐;张亚婷 | 申请（专利权）人： | 北京智芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/00 | 分类号： | G01L13/00;G01L19/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高精度超低压传感器，包括压力传感器核心芯片，专用集成电路，电路板和封装结构。压力传感器核心芯片和专用集成电路集成于同一块电路板；封装结构包含外壳、挡板和密封圈。外壳上端设有两个气嘴。电路板和挡板与外壳形成腔体A和腔体B，两个气嘴分别与两个腔体连通，压力传感器核心芯片置于腔体A内，专用集成电路置于腔体B内。密封圈确保腔体的密封性；导压孔分布在挡板上，将两个密封腔体连通，既不影响流体的流速，同时能产生压力差，为压力传感器提供压力敏感信号，提高传感器的分辨力；电路板内部开设长通孔，确保流体流量的稳定运行。与现有超低压传感器相比，功耗低、成本低、精度高和易集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 低压 传感器 | ||
【主权项】：
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