[发明专利]一种基于图结构学习确定异常的方法在审
| 申请号： | 202310321659.6 | 申请日： | 2023-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116383745A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 文成武;夏敏;易丛文 | 申请（专利权）人： | 深圳智现未来工业软件有限公司 |
| 主分类号： | G06F18/2433 | 分类号： | G06F18/2433;G06F18/214;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 周良玉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区南头*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于图结构学习确定异常的方法，包括：获取多变量时序数据，所述时序数据为半导体制造过程中设备的多个传感器产生的数据；根据图结构学习模型获取所述多个传感器对应的最终嵌入向量，所述最终嵌入向量用于表征所述多个传感器之间的关联关系；将所述时序数据中时间排序在前的目标子序列与所述最终嵌入向量结合，并输入到预测模型中，得到所述多个传感器对应的预测数据；根据所述预测数据与所述时序数据中接续所述目标子序列的实测数据，确定所述实测数据所对应的目标时间点是否出现异常。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 结构 学习 确定 异常 方法 | ||
【主权项】：
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