[发明专利]一种半埋入式狭缝波导的电光调制器

摘要

本发明提供一种半埋入式狭缝波导的电光调制器，包括半埋入式狭缝波导、氧化铝介质层，石墨烯和衬底，在埋入式狭缝波导上覆盖两层石墨烯，在波导与石墨烯之间及两层石墨烯之间插入氧化铝介质，最后在最上层介质上再加载狭缝波导；通过对石墨烯施加电压来改变石墨烯对光的吸收，以此改变波导输出的光功率，从而实现对光的调制。本发明利用现有成熟的工艺，制作简单，相比其他结构，利用狭缝波导对光的局部拘束来获得更高的消光比，可有效缩短器件长度。本发明提供的利用狭缝波导的电光调制器结构具有小型化，调制速度快的优势，再光通信和光子芯片领域有广泛应用场景。