[发明专利]一种适用于TDMAT源气相输送的钢瓶结构在审
| 申请号： | 202310277642.5 | 申请日： | 2023-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN116447493A | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 浙江陶特半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | F17C1/00 | 分类号： | F17C1/00;F17C13/02 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 汪利胜 |
| 地址： | 314400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种适用于TDMAT源气相输送的钢瓶结构，旨在解决钢瓶内的TDMAT受热不均的不足。该发明包括：钢瓶本体，用于装载TDMAT源；液位检测器，用于检测钢瓶本体内TDMAT源的液位高度；温度检测器，用于检测钢瓶本体内的温度；加热棒，用于对钢瓶本体内的TDMAT源进行加热，加热棒由下往上间隔设置；控制器，根据接收到的液位检测器和温度检测器检测的液位和温度信号，输出控制信号控制加热棒的工作，使露出液面的加热棒停止加热。本专利申请的适用于TDMAT源气相输送的钢瓶结构能使钢瓶内的TDMAT受热均匀，避免出现局部温度过高或过低现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 tdmat 源气相 输送 钢瓶 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江陶特半导体材料有限公司，未经浙江陶特半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310277642.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
