[发明专利]一种钛铝合金靶材的制备方法在审
申请号: | 202310276579.3 | 申请日: | 2023-03-21 |
公开(公告)号: | CN116275068A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;陈石;廖培君;周友平 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B22F9/08 | 分类号: | B22F9/08;B22F3/105;B22F3/14;C23C14/34 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 徐浩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种钛铝合金靶材的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:(1)均匀混合钛原料与铝原料,得到混合料;(2)熔炼步骤(1)所得混合料,得到熔融合金液;(3)使用步骤(2)所得熔融合金液进行喷雾造粒,然后对喷雾造粒所得颗粒进行放电等离子烧结,得到所述钛铝合金靶材。本发明提供的制备方法通过喷雾造粒得到合金粉,然后再通过放电等离子烧结制备钛铝合金靶材,制备过程中无需进行塑性加工,且所得靶材的杂质含量低、晶粒细小均一,具有优良的性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 铝合金 制备 方法 | ||
【主权项】:
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