[发明专利]一种复合沉积MCrAlY抗氧化涂层及其制备工艺

摘要

本发明公开了一种复合沉积MCrAlY抗氧化涂层及其制备工艺，制备工艺包括如下工作流程：基体预处理，基体离子预刻蚀处理，制备复合沉积MCrAlY抗氧化涂层，M元素为Ni或Co或NiCo。在基体表面通过阴极弧蒸发和磁控溅射复合沉积制备复合沉积MCrAlY抗氧化涂层，气压为0.2至1.0Pa，偏压为‑50至‑120V，装载基体的支架转速为1至5rpm，沉积温度为250至450℃，沉积时间为60至500min。采用阴极弧蒸发和磁控溅射复合沉积的工艺制备涂层，实现涂层组织和生长形貌的可控调节，改善涂层表面质量，有效降低涂层的生长缺陷密度，有效减少了缺陷所导致的氧的内扩散，提高涂层的抗高温氧化性能，涂层结构致密，与基体结合良好。本发明可广泛应用于高温防护涂层制备技术领域。