[发明专利]一种NiCr合金蒸发料及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202310249184.4 | 申请日： | 2023-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN116240497A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;廖培君;王学泽;慕二龙 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 徐浩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种NiCr合金蒸发料的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)真空感应熔炼得到NiCr合金铸锭；(2)步骤(1)所得NiCr合金铸锭进行热锻，冷却后再进行热轧，得到热轧料；(3)喷砂处理步骤(2)所述热轧料，去除热轧料的表面氧化层；(4)然后依次进行冲压、酸洗、清洗与真空干燥，得到所述NiCr合金蒸发料。本发明提供的制备方法能够合成适用于蒸发镀膜的NiCr合金蒸发料，其相对于纯镍蒸发源具有耐氧性好、强度高、无磁性、发射率高、耐腐蚀性能好、不软化、不变形且永久伸长率低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 nicr 合金 蒸发 料及 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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