[发明专利]一种引线框架板表面处理方法、抛光装置及喷砂装置在审
| 申请号： | 202310232384.9 | 申请日： | 2023-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN116237874A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 冯小龙;黎超丰;章新立 | 申请（专利权）人： | 宁波康强电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/08 | 分类号： | B24C1/08;B24C3/02;B24B29/00;B24B27/00 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人： | 尹泽民 |
| 地址： | 315000 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种引线框架板表面处理方法、抛光装置及喷砂装置，涉及半导体制造技术领域。本发明的引线框架板表面处理方法包括如下步骤：对引线框架板的上下表面进行抛光处理；对引线框架板的上下表面进行喷砂处理。本发明将引线框架板进行抛光处理，可通过抛光摩擦清除引线框架板上下表面的氧化物与异物，再将表面抛光干净的引线框架板进行喷砂处理，水与砂的混合物喷射到引线框架板上下表面，可去除引线框架板表面的料纹，方便后续进行电镀工艺，相比于传统地酸洗碱洗，使用抛光、喷砂对引线框架板表面进行处理，不会产生废弃的酸碱液，不需要进行酸碱污水处理，在保证处理效果的同时，用机械方法取代化学方法，健康环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 引线 框架 表面 处理 方法 抛光 装置 喷砂 | ||
【主权项】：
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