[发明专利]一种解决马兰格尼干燥模组震动造成颗粒污染的优化装置在审
| 申请号： | 202310198534.9 | 申请日： | 2023-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN116222199A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫;陆磊;吕芳毅;李盼盼;卢证凯 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/02 | 分类号： | F26B25/02;F26B25/16 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及到一种解决马兰格尼干燥模组震动造成颗粒污染的优化装置，该优化装置包括有整体稳定性控制系统和干燥腔(1)的移动控制系统，所述整体稳定性控制系统包括有设置于脱水槽(3)底部的两组结合块，该两组结合块利用巨型螺栓可调节地固定在机台(0)的骨架(001)上，在所述骨架(001)上设有对应结合块的支点；所述移动控制系统包括有开盖机构(2)和调整杆组合(4)，在所述干燥腔(1)和脱水槽(3)之间设有开盖机构(2)以实现相位移动，所述开盖机构(2)与干燥腔(1)之间设有调整杆组合(4)。本发明的优化装置提高了大型较重干燥腔的支持稳定性，保证水平运动的平稳性，并能避免污染颗粒进入到干燥模组内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解决 马兰 干燥 模组 震动 造成 颗粒 污染 优化 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司，未经上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310198534.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
