[发明专利]薄膜开关阀及其组装方法在审

专利信息
申请号: 202310187306.1 申请日: 2023-02-22
公开(公告)号: CN116292968A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 张生洲;张婕;陈振华 申请(专利权)人: 科讯工业制造(深圳)有限公司
主分类号: F16K7/12 分类号: F16K7/12;F16K27/02;F16K31/126
代理公司: 深圳维启专利代理有限公司 44827 代理人: 林鼎佑
地址: 518100 广东省深圳市龙岗区宝龙街道同*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种薄膜开关阀及其组装方法,薄膜开关阀包括具有横向两流道的阀座、包括以阀膜片切断两流道连通与以弹性驱动结构对阀膜片提供轴向可溃收弹力的阀体。第一流道在阀座内形成内弯向上朝向阀轴心方向的阀心流道口,朝向对应于阀膜片的膜心升降体;第二流道在阀座内形成围绕阀心流道口的阀环流道口,朝向对应于阀膜片的膜撓曲部;阀座或膜心升降体具有对应在阀心流道口与阀环流道口的刀口环缘,以减小阀关闭的阀膜片与阀座的接触面积。本发明具有能承受极高次数开关的操作,且不会有泄露、颗粒或/和离子析出的问题,特别适用于半导体/医药领域的药剂流体开关。
搜索关键词: 薄膜开关 及其 组装 方法
【主权项】:
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