[发明专利]掺铒铌酸锂薄膜光波导放大器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310180821.7 | 申请日： | 2023-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN116299847A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 胡祺悦;程亚;张海粟;方致伟;刘招祥 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/125;G02B6/13;G02B6/132;G02B6/136 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掺铒铌酸锂薄膜光波导放大器及其制备方法，利用飞秒激光加工结合化学机械抛光技术在铌酸锂薄膜中形成光子结构，进而实现铌酸锂光波导放大器。本发明提出的铌酸锂光波导放大器具有空间形状可任意设计、尺寸可调、可大规模集成的特点，在高速光通信，光计算和微波光子学等高科技领域都具有广阔的应用前景，为铌酸锂平台上各种有源和无源光子组件的单片集成铺平了道路。 | ||
| 搜索关键词： | 掺铒铌酸锂 薄膜 波导 放大器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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