[发明专利]一种基于优化PID算法的蒸发镀膜设备衬底温度控制方法在审
| 申请号： | 202310116675.1 | 申请日： | 2023-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN115933369A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张勤芳;周皓天 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | G05B11/42 | 分类号： | G05B11/42 |
| 代理公司： | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人： | 徐莉娟 |
| 地址： | 224051 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于优化PID算法的蒸发镀膜设备衬底温度控制方法，将群体优化算法与传统PID控制算法相结合，通过群体中个体之间的协作与信息共享最终得到最优解，实现对PID算法的优化，将传统PID算法中的k |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 优化 pid 算法 蒸发 镀膜 设备 衬底 温度 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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