[发明专利]保护性金属氟氧化物涂层在审
| 申请号： | 202310078654.5 | 申请日： | 2017-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN116083864A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | D·芬威克;C·李;J·Y·孙;Y·陈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/00;C23C14/08;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种包含具有保护性涂层的主体的物件。此保护性涂层是包含金属氟氧化物的薄膜。此金属氟氧化物具有实验式M |
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| 搜索关键词： | 保护性 金属 氧化物 涂层 | ||
【主权项】：
暂无信息
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