[发明专利]超纯水供应装置、衬底处理系统和衬底处理方法在审
| 申请号： | 202310072127.3 | 申请日： | 2023-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN116693081A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 鞠东澈;朴宙熙;金世润;李枝连 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C02F9/00 | 分类号： | C02F9/00;C02F1/28;C02F1/44;C02F1/42;C02F103/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张霞;倪斌 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种超纯水供应装置可以包括：活性炭过滤设备；离子交换树脂设备，连接到活性炭过滤设备；反渗透膜设备，连接到离子交换树脂设备；中空纤维膜设备，连接到反渗透膜设备；第一流体驱动部，在反渗透膜设备和中空纤维膜设备之间；以及控制单元，被配置为控制第一流体驱动部。第一流体驱动部可以包括：第一泵、第二泵和第三泵，与反渗透膜设备并行连接；以及压力传感器，位于第一泵和中空纤维膜设备之间。控制单元可以被配置为基于从压力传感器发送的信号来控制第一泵、第二泵和第三泵中的每一个泵。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 供应 装置 衬底 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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