[发明专利]光纤端面传感器及其设计方法和制造方法、光纤传感系统在审
| 申请号： | 202310062094.4 | 申请日： | 2023-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN115950829A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 王思媛;王飞;刘虹遥;路鑫超;黄成军;孙旭晴;姜家宏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杨傥月 |
| 地址： | 100029 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光纤端面传感器及其设计方法、制造方法、一种光纤传感系统，光纤端面传感器包括：介质层和金属层，介质层为圆台结构，介质层包括顶部和底部，顶部半径小于底部半径，底部和光纤端面直接接触，顶部金属层覆盖介质层的顶部，侧壁金属层围绕介质层的侧壁，侧壁金属层用于辅助激发传输表面等离激元。本申请实施例提供了一种三维圆台结构的光纤端面传感器，圆台结构的介质层直接与光纤端面出射光耦合，并对从介质圆台出射至侧面金属层的光进行波矢调控，具有结构紧凑、传感区域小、空间分辨率高和灵敏度高的优势，圆台结构无需采用超高精度加工技术制备，降低了制造难度和工艺成本，实现制造易于加工且高灵敏度光纤端面传感器的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 端面 传感器 及其 设计 方法 制造 传感 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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