[发明专利]一种MEMS闭环电容式加速度计高线性控制方法及系统在审
| 申请号： | 202310046653.2 | 申请日： | 2023-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN116125099A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 陶启;杨军;陈李 | 申请（专利权）人： | 江苏元宇汇芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 成都元信知识产权代理有限公司 51234 | 代理人： | 赵道刚 |
| 地址： | 214131 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及MEMS惯性器件领域，具体涉及一种MEMS闭环电容式加速度计高线性控制方法及系统，在不进行额外的非补偿的情况下，通过计算闭环控制量，计算出施加至上极板的上极板电压U |
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| 搜索关键词： | 一种 mems 闭环 电容 加速度计 线性 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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