[发明专利]反射镜的面形优化方法及装置在审
| 申请号： | 202310009881.2 | 申请日： | 2023-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN116203722A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 徐中民 | 申请（专利权）人： | 深圳综合粒子设施研究院 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B7/185;G02B7/00;H05B3/84 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 叶明川 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反射镜的面形优化方法及装置。该反射镜的面形优化方法包括：根据响应矩阵、热变形向量和各扰动项确定各热通量向量；根据响应矩阵、热变形向量和各满足约束条件的热通量向量确定各残余面形误差；在反射镜的加热片上施加各残余面形误差的最小值对应的热通量向量以优化反射镜的面形。本发明可以快速确定有效的面型优化方案，满足高精度的面形要求。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 优化 方法 装置 | ||
【主权项】：
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