[发明专利]一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备

摘要

本发明公开了一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备，涉及化学涂覆设备领域，包括：第一设备框架层，用于对装置支撑和对涂覆镀覆的镀液进行引流；第二设备框架层，位于第一设备框架层的顶端；第三设备框架层，位于第二设备框架层的顶端；第四设备框架层，位于第三设备框架层的顶端；控制外罩，位于第四设备框架层的顶端；所述第一设备框架层内侧的底部卡接有废液回收盒，所述第一设备框架层顶部的一端卡接有电缆导轨，所述电缆导轨底部的一端固定连接有镀液回收控制阀体。本发明有益效果是：有利于提高化学镀覆的效率，单口进液和多口进液可任意选用，便于控制化学镀覆时间，便于在镀覆的过程中对镀液进行回收。