[实用新型]载台组件和加工设备

摘要

本实用新型的实施例提供了一种载台组件和一种加工设备。载台组件包括：安装盘；固定环，固定环设置在安装盘的上方；以及吸盘，吸盘设置在固定环上，固定环沿周向方向环绕吸盘，吸盘的顶面设置有吸附槽，固定环上设置有连通至吸附槽的气道，其中，固定环的气道上连接有气路接头，气路接头位于安装盘和吸盘的径向外侧。如果气路接头发生异常或漏气时，可以直接将气路接头拆卸，从而进行检查或者更换。因此，无需拆除整个载台组件。这样，维修人员的工作量减少，载台组件的维修成本降低。基于此，连接至气路接头的气管也可以至少部分地位于径向外侧，因此载台组件为方便检查或者更换气管提供了可能。