[实用新型]一种防松动的硅片脱胶架

摘要

本实用新型公开了一种防松动的硅片脱胶架，涉及硅片脱胶架技术领域，为解决现有的硅片脱胶架，为框架定位，形成内部限位，随着不断的滑动，导致内部硅片排列发生松动，使得相互碰撞，影响硅片的质量的问题。本实用新型包括温热罐，温热罐的中间设有硅片脱胶架，硅片脱胶架包括转动过滤组件，转动过滤组件为转动筛，转动筛的中间设有旋转端，旋转端的外侧设有限位组件，限位组件设有多组，多组限位组件环绕旋转端的外侧设置，两组限位组件的之间设有隔断组件，通过多组限位组件环绕旋转端的外侧设置，根据硅片的大小，通过定位孔安装不同的托盘，便于硅片脱落，通过转动筛进行保护与限位，保障硅片的质量。