[实用新型]一种掩膜装置和制备高通量薄膜的系统有效
| 申请号： | 202223169007.5 | 申请日： | 2022-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN218812045U | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张晓军;胡小波 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 张建珍 |
| 地址： | 518131 广东省深圳市龙华区民*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜装置和制备高通量薄膜的系统，其中，上述掩膜装置包括：掩膜版，掩膜版上设有通孔；偏压装置，偏压装置上设有孔结构，偏压装置设于掩膜版的表面；且孔结构和通孔连通；掩膜版和偏压装置之间绝缘。通过使用本实用新型提出的掩膜装置，能够有效提升制备高通量薄膜的效率并降低制备成本。本实用新型还提供了上述掩膜装置的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 制备 通量 薄膜 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市矩阵多元科技有限公司，未经深圳市矩阵多元科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202223169007.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于退料的铝散热片冲压模具
- 下一篇：泡棉贴合机
- 同类专利
- 专利分类
