[实用新型]一种半导体前驱体薄膜收卷装置有效
| 申请号： | 202223096360.5 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN219216911U | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 孟永禄;林沫;翁圣斐 | 申请（专利权）人： | 江苏先科半导体新材料有限公司 |
| 主分类号： | B65H18/02 | 分类号： | B65H18/02;B65H18/14;B65H19/30 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 向文 |
| 地址： | 214200 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体前驱体薄膜收卷装置，涉及半导体前驱体膜制造技术领域，为解决现有半导体前驱体膜收卷装置在收卷完毕切割之后，膜的头部会落下，在卷膜筒更换之后，需要人工将膜拉起并缠绕在卷膜筒上，继续进行卷膜工作，较为麻烦的问题。所述卷膜机的下方设置有固定底座；推杆底座，其设置在固定底座的上方一侧，所述推杆底座的内部设置有膜板推杆，所述膜板推杆的上方设置有撑膜板，且撑膜板通过螺栓与膜板推杆连接；横杆，其设置在辅助上膜机的中间，且辅助上膜机设置在卷膜机的上方，所述横杆上设置有移动座，且横杆插入移动座的内部将移动座架起，所述移动座的内部设置有升降推杆，所述升降推杆的下方设置有升降吸附块。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 前驱 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
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