[实用新型]一种T型台激光打印机防反装置

摘要

本实用新型公开了一种T型台激光打印机防反装置，具体涉及半导体设备制作技术领域，包括用于对集成电路进行激光印刻的激光打印机构，所述激光打印机构包括工作台和激光打印模块，所述激光打印模块位于工作台的一侧，所述工作台的一侧开设有腰型孔且另一侧上固定连接有光纤传感器，光纤传感器正对腰型孔设置，所述光纤传感器的一侧设置有接受光纤传感器传出数据的激光控制系统，本实用新型有如下优点，工作时通过光纤传感器检测框架上面的腰型孔，进行防反，如果方向正确，即可正常生产；方向错误，便不会生产，本实用新型实现了设备的防反功能，大大提升了产品的良率。