[实用新型]一种半导体工件加工液在线混合系统有效
| 申请号： | 202222696074.6 | 申请日： | 2022-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN218890393U | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 徐元;江磊;何天能 | 申请（专利权）人： | 富士胶片电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B01F25/40 | 分类号： | B01F25/40;B01F25/50;B01F33/70;B01F35/21;B01F35/80 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体工件加工液在线混合系统，涉及溶液混合系统技术领域，包括原料液进料管道、静态混合器、混合回流管道、在线分析及回流管道、控制装置等，质量流量控制器所述原料液进料管道上设置压力变送器、质量流量控制器，混合回流管道上设置流量变送器、调节阀。本实用新型通过免于设置混合罐和相应的搅拌电机、循环泵可以降低设备投资、占地面积和运行能耗，且相比混合罐和搅拌电机、循环泵磨损小、噪音小，可降低运行、维护费用，可大量部署、并行作业、连续作业，即时根据在线分析仪器检测结果调整，不仅大大提高了混合效率、调配成功率，而且可适应不同配方产品、少量订单和小批量使用的切换需要，灵活性提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工件 加工 在线 混合 系统 | ||
【主权项】：
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