[实用新型]光刻机用防微振基座配套IF基座有效
| 申请号： | 202222609682.9 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN218441465U | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 赵江民 | 申请（专利权）人： | 合肥玖福半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;F16M11/22;G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 田浩 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了光刻机用防微振基座配套IF基座，包括支撑腿和设置于支撑腿顶部的上框架，所述上框架的顶部安装有活动面板，所述支撑腿的底部固定有用于调平的垫板，所述支撑腿的表面连接有找平结构，本实用新型涉及防微振基座技术领域。该光刻机用防微振基座配套IF基座，安装方便，操作简单，有效的起到支撑作用，并且在进行组装时，通过找平结构可以保证每条支撑腿安装时都处于水平状态，并且可以根据支撑腿的宽度进行自适应调节，可以快速的进行拆卸安装。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 机用防微振 基座 配套 if | ||
【主权项】：
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