[实用新型]一种双抛片的转载装置有效
| 申请号： | 202222557324.8 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN218137197U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 徐明金;史晓华 | 申请（专利权）人： | 南昌光澜半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄丽莉 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南昌高新技*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种双抛片的转载装置，转载装置包括：搬运组件和承载组件，搬运组件包括：机械臂以及与机械臂传动连接的机械臂驱动装置，机械臂的搬运端上设有U型槽，U型槽的面积不小于待搬运的双抛片的正面/背面的有效区域的面积，且在U型槽的外侧台阶面上设有至少两个第一吸附孔，第一吸附孔用于吸附双抛片的边缘；承载组件，承载组件包括：支撑平台以及设置于支撑平台上的至少两个弧形台，全部弧形台围成的中间空缺区域的面积不小于承载的双抛片的正面/背面的有效区域的面积，在每个弧形台的支撑面上设有至少一个第二吸附孔，第二吸附孔用于吸附双抛片的边缘。本实用新型可以保证双抛片的正面和背面有效区域不被污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双抛片 转载 装置 | ||
【主权项】：
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