[实用新型]一种光学掩模版基板缺陷检验系统有效
| 申请号： | 202222556994.8 | 申请日： | 2022-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN218554832U | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 丁发展;梁新乐 | 申请（专利权）人： | 无锡雪浪数制科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/342 | 分类号： | B07C5/342;B07C5/36;G01N21/892 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 严梅芳 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光学掩模版基板缺陷检验系统，包括工作台和跨越在工作台上的上料输送装置，以及，搭接在上料输送装置上的工件本体，机柜上位于工件本体来向的位置依次设置有第一台位和第二台位，第一台位和第二台位上分别设置有对工件本体进行检测的检测设备；第一台位和第二台位均设置有跨越上料输送装置并连接在工作台上的悬臂，悬臂上连接有能够水平移动的移料模组，移料模组上连接有上下移动且能够抓取工件本体的吸盘组件；本实用新型通过移料模组、气浮三轴运动平台和检测设备，即可完成对工件本体的自动检测，整个系统自动化程度高，能够自动进行切换台位，提高工作效率，还能对不良品进行区分，具有很强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 模版 缺陷 检验 系统 | ||
【主权项】：
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