[实用新型]一种一体式电流传感器有效
申请号: | 202222537516.2 | 申请日: | 2022-09-22 |
公开(公告)号: | CN218546849U | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 郭海平;宋晨;沈卫锋;薛松生 | 申请(专利权)人: | 江苏多维科技有限公司 |
主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 方晓燕 |
地址: | 215634 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体传感器技术领域,提供了一种一体式电流传感器,包括:基板、软磁结构层、金属导线层、磁敏感元件及绝缘材料;软磁结构层为U型结构用于聚磁,U型结构生长在基板上且具有一定厚度;金属导线层的部分位于软磁结构层的U型口内空间、且金属导线层整体垂直于软磁结构层的U型平面贯穿软磁结构层;磁敏感元件生长在软磁结构层的U型口内空间,紧挨金属导线层或位于U型结构的开口处,用于感测磁场变化;绝缘材料用于填充软磁结构层的U型口内空间未被金属导线层与磁敏感元件占据的剩余空间。本实用新型利用半导体集成技术一体形成含聚磁结构的电流传感器芯片,实现了电流传感器的高度集成化与小型化。 | ||
搜索关键词: | 一种 体式 电流传感器 | ||
【主权项】:
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