[实用新型]一种晶棒长度直径检测结构有效
| 申请号： | 202222521827.X | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN218756153U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;张淳;吕原杰;耿名强;温馥宇 | 申请（专利权）人： | 天津环博科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶棒长度直径检测结构，所述晶棒竖直放置在检测台的旋转台上，包括长度测量装置、直径测量装置和驱动装置，所述长度测量装置包括激光测距传感器，设置在所述晶棒的上方，所述激光测距传感器上设有支架，所述直径测量装置，包括激光对射传感器，对称设置在所述晶棒未设有所述支架的两侧，所述激光对射传感器一端连接有传动模块，可带动所述激光对射传感器移动，所述传动模块与所述支架连接，所述激光对射传感器与所述传动模块的连接端设有位移传感，所述驱动装置设置在所述支架上可带动所述传动模块上下移动。本实用新型的有益效果是实现了晶棒长度和直径的自动检测，提高了测量精度和检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长度 直径 检测 结构 | ||
【主权项】：
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