[实用新型]一种超360度旋转的旋转平台测试装置

摘要

本实用新型涉及一种超360度旋转的旋转平台测试装置，包括工作台，所述工作台的中部通过电机驱动安装有晶圆承载盘，晶圆承载盘吸附待检测的晶圆，晶圆承载盘的下表面垂直方向设置有一号撞条，位于一号撞条一旁的工作台上安装有超360度限位开关，所述超360度限位开关上前后端设置有对称的二号撞条，超360度限位开关的前端面设置有对称的光电传感器，所述光电传感器上设置有凹槽，所述二号撞条的后端与一号撞条对应，所述二号撞条的前端与凹槽对应，还包括控制器，所述控制器与电机和光电传感器电信号连接。提高了晶圆检测结果的准确性，保证了检测精度。