[实用新型]一种圆晶清洗用卡盘夹具有效
| 申请号： | 202222160795.5 | 申请日： | 2022-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN218340587U | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 卫宇;周西光;熊人浩;罗龙辉 | 申请（专利权）人： | 广东风华高新科技股份有限公司;广东风华芯电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 刘慧丽 |
| 地址： | 526000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种圆晶清洗用卡盘夹具，包括卡盘本体和多个固定设置在所述卡盘本体的外侧边缘上的连接件，各所述连接件的均具有凸出于所述卡盘本体的伸出端，各所述伸出端上均竖直转动连接有卡扣，多个所述卡扣两两相对布置；以两个相对的所述卡扣的连线为中心线，位于所述中心线的两侧各所述伸出端上均设置有向上延伸的定位结构；卡盘本体上还设置有在圆晶匹配定位在卡盘上时吸附圆晶的真空管，所述真空管连接有抽真空设备；还包括控制器，所述控制器同时电连接报警器和所述抽真空设备，所述抽真空设备可检测真空管开口处的真空度。本申请的圆晶清洗用卡盘夹具能够避免作业员放置晶圆不规范且能够使清洗设备能够停机报警。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 卡盘 夹具 | ||
【主权项】：
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