[实用新型]一种圆周测量系统有效
| 申请号： | 202222016774.6 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN217818617U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 郝凌凌 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 黄斌 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种圆周测量系统，包括激光干涉仪、旋转工作台、测量模组，所述测量模组进一步包括测量反射镜、直线导向机构、从动转接件和凸轮，所述圆周测量系统将被测物品的圆周运动转换成测量反射镜的直线位移，进而通过激光干涉仪来精确测量出测量反射镜的直线位移距离，进而计算出被测物品的旋转角度，使得被测物品的圆周运动可以借助直线位移测量装置来测量得到，可实现对被测物品的高分辨率高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆周 测量 系统 | ||
【主权项】：
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