[实用新型]一种二合一的椭偏仪测试台面有效
申请号: | 202222013262.4 | 申请日: | 2022-08-01 |
公开(公告)号: | CN218003238U | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 刘蕾;田晶晶;何丽;姚凌飞 | 申请(专利权)人: | 系科仪器(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01B11/06;G01N21/21;G01N21/41 |
代理公司: | 合肥东邦滋原专利代理事务所(普通合伙) 34155 | 代理人: | 王天马 |
地址: | 201612 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种二合一的椭偏仪测试台面,包括安装在椭偏仪上的连接柱及设置在连接柱上端用于放置测试片的测试台,所述测试台包括水平测试平台和倾斜面测试平台,所述水平测试平台包括固定平支撑面板及可拆卸安装在固定平支撑面板上的可拆平支撑面板,所述倾斜面测试平台包括安装在固定平支撑面下方一侧的斜支撑面板,斜支撑面板倾斜设置。本发明将水平测试平台和倾斜面测试平台合理集成,实现了一体化的设计,避免了测试时频繁更换测试台面引起的安装精度下降、测试台面损坏等问题。测试台面的连接柱出厂测试完成后,几乎不再拆卸,与椭偏仪匹配度高,保障了椭偏仪设备长期的测试精度及稳定性、可靠性,也降低了椭偏仪调试、维护的麻烦。 | ||
搜索关键词: | 一种 二合一 椭偏仪 测试 台面 | ||
【主权项】:
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