[实用新型]刻蚀风刀有效
| 申请号： | 202221959036.9 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN217929697U | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 李超;黄浩;赵川 | 申请（专利权）人： | 晶科能源（上饶）有限公司;晶科能源股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B25/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 334100 江西省上*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及刻蚀风干槽风刀技术领域，公开了一种刻蚀风刀，包括外风刀管道,内风刀管道，所述内风刀管道位于所述外风刀管道内部、且可绕自身轴线相对所述外风刀管道旋转,以及连通所述内风刀管道的进风管，所述进风管用于为所述内风刀管道通风,其中，所述内风刀管道设有风槽口，所述外风刀管道设有缺口，所述缺口的尺寸大于所述风槽口的尺寸，所述风槽口经由所述缺口暴露在外，当所述内风刀管道绕自身轴线旋转时，所述风槽口在所述缺口的开口范围内移动，可以在开机状态下随时调整刻蚀风刀的出风角度，能够实时确认调整效果，提高调整效率。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 | ||
【主权项】：
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