[实用新型]一种手动式碳化硅温场制作工装有效
| 申请号: | 202221794145.X | 申请日: | 2022-07-11 |
| 公开(公告)号: | CN218083500U | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
| 发明(设计)人: | 冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林 | 申请(专利权)人: | 合肥露笑半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | B28D1/22 | 分类号: | B28D1/22;B28D7/04 |
| 代理公司: | 上海恩凡知识产权代理有限公司 31459 | 代理人: | 汪贺玲 |
| 地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种手动式碳化硅温场制作工装,包括放置石墨毡的工作台,工作台上方设置分割单元,所述的分割单元包括压板,压板的上面的中心位置立置有定芯轴,定芯轴上转动铰接有旋转连接杆,旋转连接杆的自由端设置刀片固定架,刀片固定架上开设安装槽,安装槽中设置有刀片,所述的刀片位于安装槽中上下可调,安装槽上设置紧锁螺栓;刀片固定架的上面立置有手柄。得到的石墨毡制品尺寸大小一致、切口角度一致,进而保证碳化硅温场保温效果的一致,工艺的可重复性高,保证晶体生长的稳定。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 手动式 碳化硅 制作 工装 | ||
【主权项】:
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