[实用新型]一种氮化镓高电子迁移率晶体管有效
| 申请号: | 202221689805.8 | 申请日: | 2022-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN219085984U | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
| 发明(设计)人: | 李国强 | 申请(专利权)人: | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/06;H01L29/41;H01L29/423 |
| 代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 骆志豪 |
| 地址: | 517025 广东省河源*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 一种氮化镓高电子迁移率晶体管,涉及半导体技术领域;包括HEMT外延片、源极、栅极和漏极,所述HEMT外延片顶部包括AlGaN势垒层和与AlGaN势垒层上表面连接的钝化层,所述源极和漏极分别穿过所述钝化层与AlGaN势垒层表面形成欧姆接触,所述栅极底部设有半圆弧形栅结构,所述栅极穿过所述钝化层且所述半圆弧形栅结构延伸至AlGaN势垒层内部形成肖特基接触。本实用新型的栅极底部设有半圆弧形栅结构,该半圆弧形栅结构的应用可降低了栅下及边缘处的电子浓度,缓解电场集中效应,提升器件的击穿电压;同时半圆弧状栅结构的引入减薄了势垒层的厚度,提升器件的栅控能力和响应速度,降低了噪声比。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 氮化 电子 迁移率 晶体管 | ||
【主权项】:
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