[实用新型]玻璃基板和掩膜版组装设备

摘要

本实用新型公开一种玻璃基板和掩膜版组装设备，包括具有真空腔室的设备本体，真空腔室内设有用于将玻璃基板输送至装载位置辊轮组件、用于检测玻璃基板与掩膜版是否对位的视觉检测组件、定位组件和校准组件，定位组件位于辊轮组件沿玻璃基板输送方向的前侧，能将玻璃基板定位在装载位置，校准组件设在辊轮组件远离定位组件的一侧，校准组件包括推板和与推板连接的驱动件，视觉检测组件和驱动件均与控制器连接，当玻璃基板与掩膜版错位时，推板推动玻璃基板移动，使玻璃基板与掩膜版对位。本实用新型的玻璃基板和掩膜版组装设备在玻璃基板定位后，当玻璃基板与掩膜版错位，校准组件能够自动调节玻璃基板的偏移量，使玻璃基板与掩膜版准确对位。