[实用新型]一种真空镀膜设备的门阀组件及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202221601490.7 | 申请日： | 2022-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN217536149U | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 李王俊;张斌;徐文涛;刘亚南;房现飞;王朝 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王士强 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备的门阀组件及真空镀膜设备。该真空镀膜设备的门阀组件设在真空镀膜设备的两个工作腔之间，真空镀膜设备的门阀组件包括阀座、阀板和阀盖，阀盖扣合在阀座上，阀板可转动地设在阀座或阀盖上，阀盖上设有测温孔，真空镀膜设备的门阀组件还包括透光盖板和红外测温件，透光盖板扣合测温孔上，红外测温件安装在阀盖上且对应测温孔设置。该门阀组件能够较为准确地测量基板组件的温度，有利于实现对于基板组件温度的精准控制，从而有利于后续镀膜工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 门阀 组件 | ||
【主权项】：
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