[实用新型]一种防止酸液倒吸的机构有效
| 申请号： | 202221490398.8 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN217989262U | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;丁天时;吕原杰;杨亮 | 申请（专利权）人： | 天津环博科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种防止酸液倒吸的机构，包括位于机构上端的反酸罐，以及设于所述反酸罐下端的储液罐，所述反酸罐用于防止酸液腐蚀硅片，并防止硅片破裂吸入发生管路，所述储液罐用于接收酸液；其中，所述反酸罐的顶端设有真空输出管口，所述真空输出管口外部连接真空吸盘，用于吸取硅片置入酸液中进行处理，以及所述反酸罐的侧端设有真空输入管口，所述真空输入管口连接真空发生器，用于产生负压吸附硅片。本实用新型的有益效果是实现真空发生管路的气液分离，防止酸液倒卷，有效保护真空发生组件；设置液位传感器，避免罐内液位过高，及时排出反酸罐内液体，防止反酸罐失去气液分离的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 酸液倒吸 机构 | ||
【主权项】：
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