[实用新型]一种半导体芯片生产用的石墨坩埚

摘要

本实用新型涉及一种半导体芯片生产用的石墨坩埚，包括坩埚壳体,所述坩埚壳体外侧设置有支撑架，支撑架上开设有通孔，第一转动杆的右侧穿过通孔轴向固定连接在坩埚壳体外侧，坩埚壳体右侧外壁沿第一转动杆的轴向方向固定有第二转动杆，支撑架上端设置有可沿竖向方向滑动连接的门型支架，门型支架上设置有电机，电机的底部输出端轴向固定有转轴，转轴的底部设置有多组搅拌叶片，坩埚壳体的顶部开口的一侧设置有引流嘴，且坩埚壳体的开口上可拆卸连接有保温盖，支撑架的侧壁上设置有底座，底座上固定连接有液压臂，安装板固定连接在门型支架外壁上，该设计可使石墨坩埚内的溶液受热均匀，增加坩埚的保温性，减少热量流失，提高溶解速度，并且在倒出溶液时操作更方便更安全。