[实用新型]钙钛矿太阳能电池的镀膜前监测设备有效
| 申请号： | 202221384622.5 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN218351411U | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 夏渊;李卫东;赵志国;李新连;张赟;赵东明;秦校军;熊继光;黄斌;董超;申建汛;张杰 | 申请（专利权）人： | 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01N21/88;G01N21/59;G01N13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 万双艳 |
| 地址： | 100036 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种钙钛矿太阳能电池的镀膜前监测设备，包括基座、清洗风刀装置、图像采集装置和控制装置；基座的台面设有用于输送TCO基片的传输带；清洗风道装置安装于基座，并悬设于传输带上方；清洗风道装置用于清洗并吹干TCO基片；图像采集装置安装于基座，并悬设于传输带上方；图像采集装置用于采集经过清洗风刀装置清洗和吹干的TCO基片的图像；控制装置用于接收图像采集装置采集的图片，并比对预设的TCO基片模板尺寸，以监测TCO基片是否有漏刻和/或划线偏移情况。上述镀膜前监测设备能够监测TCO基片的P1划线质量，在镀膜前筛选出P1划线划线质量差的TCO基片免于进行镀膜，提高镀膜工艺的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 钙钛矿 太阳能电池 镀膜 监测 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
