[实用新型]一种微电子器件静电带电放电防护的自动化电测取放机构有效
| 申请号: | 202221290104.7 | 申请日: | 2022-05-26 |
| 公开(公告)号: | CN217822718U | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
| 发明(设计)人: | 侯长军 | 申请(专利权)人: | 广州林恩静电科学技术应用有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/66;H01L21/677 |
| 代理公司: | 广州汇航专利代理事务所(普通合伙) 44537 | 代理人: | 郭奎 |
| 地址: | 510530 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种微电子器件静电带电放电防护的自动化电测取放机构,包括取放机构、电性测试座、测试线缆、电性测试主机和芯片,所述电性测试座通过测试线缆与电性测试主机连接,所述取放机构位于电性测试座的上方,所述取放机构包括自动化机械手臂基座、吸盘组件和顶杆,所述吸盘组件的一侧连接有转接头;本实用新型提供的吸盘组件,在安装于自动化测试设备上开始工作时,在吸取微电子器件的封装壳体时,便即时将微电子器件绝缘壳体上经过前操作过程累积的静电荷对器件内部线路的静电作用强度大大降低,而这个器件带电程度几乎可以满足绝大多数微电子器件带电放电情形下的静电安全,不会导致发生电性失效。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 微电子 器件 静电 带电 放电 防护 自动化 电测取放 机构 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





