[实用新型]一种适用于PECVD设备的送舟设备组件

摘要

本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的送舟设备组件，包括：上机架以及下机架，上机架内设置有上送舟模组，下机架内设置有下送舟模组，上送舟模组与下送舟模组的结构相同，包括：升降主动模组、升降从动模组、送舟左右运动组件以及承载石墨舟的碳化硅桨杆，升降主动模组和升降从动模组设置于送舟左右运动组件的同侧且可驱动送舟左右运动组件上升或下降运动，碳化硅桨杆通过空心圆棒设置于送舟左右运动组件的滑块上，送舟左右运动组件可驱动碳化硅桨杆水平运动以将承载的石墨舟运送至上机架或下机架侧边的石英管内，本实用新型的送舟设备组件，一组送舟模组可对应多个石英管，既满足了产能需求，减少了模组数量、还节约出大量的设备空间。