[实用新型]坩埚驱动装置及单晶炉有效
申请号: | 202221175800.3 | 申请日: | 2022-05-13 |
公开(公告)号: | CN217733338U | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 朱永刚;赵阳;李侨;张伟建;曹杰 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本申请公开了一种坩埚驱动装置及单晶炉,涉及太阳能光伏技术领域。坩埚驱动装置具体可以包括:基座、坩埚轴组件、升降旋转机构以及称重传感器;坩埚轴组件一端与升降旋转机构相连,另一端伸入单晶炉内与坩埚相连;升降旋转机构设置于基座上,升降旋转机构用于驱动坩埚轴组件带动坩埚升降或旋转至预设位置;称重传感器设置于升降旋转机构上,且与坩埚轴组件相连,称重传感器用于通过坩埚轴组件实时测量坩埚内硅料的重量。本申请实施例,通过称重传感器可以快速精准的判断坩埚内硅料是否发生漏硅现象,并针对不同的漏硅现象进行相应的处理,进而提升拉晶安全。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 驱动 装置 单晶炉 | ||
【主权项】:
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