[实用新型]坩埚驱动装置及单晶炉有效

专利信息
申请号: 202221175800.3 申请日: 2022-05-13
公开(公告)号: CN217733338U 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 朱永刚;赵阳;李侨;张伟建;曹杰 申请(专利权)人: 隆基绿能科技股份有限公司
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B29/06
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 赵娟
地址: 710100 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 本申请公开了一种坩埚驱动装置及单晶炉,涉及太阳能光伏技术领域。坩埚驱动装置具体可以包括:基座、坩埚轴组件、升降旋转机构以及称重传感器;坩埚轴组件一端与升降旋转机构相连,另一端伸入单晶炉内与坩埚相连;升降旋转机构设置于基座上,升降旋转机构用于驱动坩埚轴组件带动坩埚升降或旋转至预设位置;称重传感器设置于升降旋转机构上,且与坩埚轴组件相连,称重传感器用于通过坩埚轴组件实时测量坩埚内硅料的重量。本申请实施例,通过称重传感器可以快速精准的判断坩埚内硅料是否发生漏硅现象,并针对不同的漏硅现象进行相应的处理,进而提升拉晶安全。
搜索关键词: 坩埚 驱动 装置 单晶炉
【主权项】:
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