[实用新型]一种用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置有效
| 申请号： | 202221135883.3 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN217340757U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 周国忠 | 申请（专利权）人： | 苏州朗道节能技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/22 | 分类号： | B01D53/22;C01B23/00 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 李微 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城经济技术开发区漕*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体尾气技术领域，具体为一种用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置，包括筒体，所述筒体内壁自左向右依次等距安装有第一渗透膜、第二渗透膜和第三渗透膜，通过第一渗透膜、第二渗透膜和第三渗透膜依次将筒体自右向右划分有第一腔体、第二腔体、第三腔体和提纯腔，所述第一腔体、第二腔体和第三腔体底部分别安装有第一压力传感器、第二压力传感器和第三压力传感器，所述第一腔体、第二腔体和第三腔体顶部分别连通有第一电控阀、第二电控阀和第三电控阀。本实用新型有利于避免多层渗透膜之间气体不断残留导致压力过大，同时增压引导性，使得氦气提纯效果更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 尾气 处理 前端 氦气 提纯 装置 | ||
【主权项】：
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