[实用新型]一种有利于生长碳化硅单晶的石墨加热器有效
| 申请号： | 202221092342.7 | 申请日： | 2022-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN217556358U | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王亚哲;徐所成;皮孝东;陈鹏磊;姚秋鹏;程周鹏;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 盛影影 |
| 地址： | 311200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种有利于生长碳化硅单晶的石墨加热器，包括侧部加热器与顶部加热器，所述侧部加热器设置于坩埚的外围，所述顶部加热器设置于坩埚的顶部，所述顶部加热器的加热片沿着径向背离中心宽度呈减小趋势，所述侧部加热器的加热片的宽度从底部到顶部呈增大趋势。通过本实用新型的加热器，整个温场的高温线会下移，相比传统的加热器，本实用新型的加热器由于高温线下移会对粉料的利用率更高，也避免了气氛逆流在底部结晶的现象，晶体生长区的径向温度梯度更容易控制，对晶体的形状和质量都有很大的改善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有利于 生长 碳化硅 石墨 加热器 | ||
【主权项】：
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