[实用新型]一种单晶炉冷却系统有效

专利信息
申请号: 202221089178.4 申请日: 2022-05-09
公开(公告)号: CN217438337U 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 周旺超;黄剑雄 申请(专利权)人: 无锡松瓷机电有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 代理人: 孙际德
地址: 214000 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种单晶炉冷却系统,用于冷却所述单晶炉,其包括第一冷却装置和第二冷却装置,其中:第一冷却装置设置在单晶炉的炉底下方,第一冷却装置被配置为经顶升孔顶入至单晶炉内,并向上顶升保温层,以减少保温层覆盖坩埚的面积;第二冷却装置与单晶炉的炉口对接,第二冷却装置被配置为经炉口实施对单晶炉的冷却。本实用新型提供的单晶炉冷却系统包括第一冷却装置和第二冷却装置,其中:第一冷却装置经单晶炉的炉底顶升孔穿入至单晶炉内以向上顶升位于坩埚周侧的保温层,减少保温层覆盖坩埚的面积从而,加快坩埚的散热速度;第二冷却装置则经炉口实施对单晶炉的冷却降温。
搜索关键词: 一种 单晶炉 冷却系统
【主权项】:
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