[实用新型]压力传感器和电子设备有效
| 申请号： | 202221042534.7 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN217442738U | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;朱恩成;张强;王栋杰 | 申请（专利权）人： | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L25/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 李郎平 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种压力传感器和电子设备。压力传感器包括基底层，基底层的两侧分别覆盖有第一绝缘层和第二绝缘层，基底层上靠近于第二绝缘层的一侧设置有空腔部；衬底层，衬底层覆盖在基底层上，并通过位于第二绝缘层与基底层相互绝缘，衬底层内具有压阻结构；保护层，保护层覆盖在衬底层上；保护层内设置有多个导电结构，每个导电结构的至少一部分露出于保护层，用于将基底层、衬底层以及压阻结构分别与外部电路连接。本申请的压力传感器能够实现晶圆级的自检测功能，降低了检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
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